C10100 ทองแดงสำหรับเป้าหมายสปัตเตอร์

ในการสะสมฟิล์มบางของเซมิคอนดักเตอร์- เป้าหมายการสปัตเตอร์ของคุณจะเชื่อถือได้พอๆ กับแผ่นรองหลังที่รองรับเท่านั้น ไม่ว่าคุณจะใช้วัสดุเป้าหมายที่เป็นทอง เงิน หรือเซรามิก แผ่นรองด้านหลังจะต้องทำหน้าที่เป็นตัวระบายความร้อนที่สมบูรณ์แบบและเป็นรากฐานที่มั่นคง{2}}แบบสุญญากาศ

สำหรับการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) กำลังสูง-C10100 Oxygen-ทองแดงอิเล็กทรอนิกส์ฟรีเป็นอาณัติของอุตสาหกรรม อะไรก็ได้ที่น้อยกว่า.ความบริสุทธิ์ 99.99%แนะนำตัวแปรภัยพิบัติในห้องคลีนรูม-โดยเฉพาะความร้อนสูงเกินไปและการปนเปื้อนในห้องสะอาด

การสปัตเตอร์เป็นกระบวนการที่ใช้พลังงานสูง-ซึ่งก่อให้เกิดความร้อนมหาศาล หากแผ่นรองด้านหลังไม่สามารถกระจายภาระความร้อนนี้ได้ทันที ส่วนต่อประสานระหว่างชิ้นงานกับเพลตจะล้มเหลว หรือแย่กว่านั้นคือชิ้นงานจะร้าวเอง

ของเราC10100 จาน,ชีทให้ค่าการนำความร้อนประมาณ391 W/m-K. พร้อมมีหลักประกันการนำไฟฟ้า IACS 101%, C10100 รับประกันการไล่ระดับความร้อนที่สม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวเป้าหมาย วิธีนี้จะช่วยป้องกัน "จุดร้อน" ที่ทำให้-ความหนาของฟิล์มไม่สม่ำเสมอบนเวเฟอร์ซิลิคอน-เป็นข้อบกพร่องที่อาจทำให้โรงงานเซมิคอนดักเตอร์ต้องเสียเงินหลายหมื่นดอลลาร์ต่อชุด

กระบวนการ PVD ทำงานภายใต้สภาวะสุญญากาศสูงพิเศษ- (UHV) ที่แรงกดดันเหล่านี้ แม้แต่ปริมาณของสารเจือปนที่ระเหยง่ายในทองแดง (เช่น สังกะสี ตะกั่ว หรือระดับออกซิเจนสูง) ก็จะ "ก๊าซหมด"

เพราะ C10100 ของ GNEE METAL ประกอบด้วยออกซิเจนสูงสุด 5ppmมันแทบจะเฉื่อยในสุญญากาศ ต่างจากทองแดง ETP มาตรฐานซึ่งมี Cuprous Oxide (Cu2O) การรวมเข้าด้วยกัน เกรด OFE ของเราช่วยให้แน่ใจว่าไม่มีก๊าซที่ติดอยู่ถูกปล่อยออกมาเพื่อปนเปื้อนพลาสมาหรือฟิล์มบางที่สะสมอยู่

เป้าหมายสปัตเตอร์ส่วนใหญ่จะยึดติดกับแผ่นรองหลัง C10100 ผ่านการเชื่อมแบบกระจายหรือการบัดกรี ความสำเร็จของพันธะนี้ขึ้นอยู่กับความบริสุทธิ์และความเรียบทางเคมีของพื้นผิว

การรวมเป็นศูนย์:การไม่มีออกไซด์ใน C10100 ช่วยให้เกิดพันธะที่แข็งแกร่งและสม่ำเสมอมากขึ้นในระดับโมเลกุล

เครื่องจักรกลที่มีความแม่นยำ:สำหรับรูปทรงเป้าหมายแบบกำหนดเองชิ้นส่วนกลึง CNC แบบกำหนดเองทำจาก C10100 ให้ความเสถียรของมิติที่เหนือกว่า ความเหนียวสูงของวัสดุช่วยให้สามารถรวมช่องระบายความร้อนที่ซับซ้อนภายในแผ่นรองหลังได้ โดยไม่เสี่ยงต่อการกัดกร่อนจากความเค้นแตกร้าว

หากการออกแบบของคุณต้องการรูปทรงวงกลม เราก็จัดหาให้เช่นกันC10100 เหล็กเส้นกลม เหลี่ยม และแบนปลอมแปลงเป็นพิเศษสำหรับแผ่นดิสก์รองรับเป้าหมาย ทำให้มั่นใจได้ถึงโครงสร้างเกรนละเอียดที่ส่งเสริมอัตราการสปัตเตอร์ที่สม่ำเสมอ

ดาวน์โหลดเอกสารข้อมูลความร้อนและเครื่องกล C10100 สำหรับการออกแบบ PVD

ทองแดง "4N" (99.99%) ไม่เท่ากันทั้งหมด สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ เรารับรองวัสดุของเราเพื่อข้อกำหนด ASTM F68 และ ASTM B170 เกรด 1. สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าขนาดเกรนและความสะอาดของโลหะเป็นไปตามข้อกำหนด "เกรดอิเล็กทรอนิกส์" ซึ่งทองแดงมาตรฐานอุตสาหกรรม (แม้แต่ C10200) ไม่สามารถทำได้

เมื่อเลือก C10100 คุณไม่ใช่แค่ซื้อโลหะเท่านั้น คุณกำลังรักษาผลผลิตของกระบวนการ-การสะสมฟิล์มบางของคุณ ไม่ว่าคุณจะจัดหาC10100 ฟอยล์สำหรับแผงกั้นไอหรือแผ่นหนาสำหรับการประกอบแคโทด GNEE METAL มอบความสามารถในการตรวจสอบย้อนกลับที่จำเป็นสำหรับห่วงโซ่อุปทานเซมิคอนดักเตอร์ระดับ Tier-1

ขอใบเสนอราคาสำหรับเซมิคอนดักเตอร์-แผ่นรองหลังเกรด C10100

เราดำเนินการสายการผลิตครบวงจรรวมถึงเครื่องอัดรีด แท่นรีดเย็น เครื่องรีดความเร็วสูง- เส้นตัด และเครื่องแมชชีนนิ่งเซ็นเตอร์ CNC ที่มีความแม่นยำสูงทำให้เราสามารถผลิตท่อทองแดง แผ่น แท่ง ลวด และแถบทองแดงได้ทั้งหมดภายใน-บริษัท เพื่อการประกันคุณภาพ เรามุ่งมั่นทุ่มเทห้องปฏิบัติการตรวจสอบพร้อมเครื่องวิเคราะห์สเปกตรัม เครื่องทดสอบอเนกประสงค์ เครื่องทดสอบความแข็ง เครื่องทดสอบความหยาบผิว และเครื่องมือวัดทางแสง. ทุกชุดได้รับการทดสอบองค์ประกอบทางเคมี คุณสมบัติทางกล และความแม่นยำของมิติก่อนจัดส่ง กำลังการผลิตของเราถึง500+ ตันต่อเดือนและเราถือการรับรองมาตรฐาน ISO 9001:2015สามารถตรวจสอบย้อนกลับได้ตั้งแต่วัตถุดิบจนถึงผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป ไม่ว่าคุณจะต้องการสต็อกของโรงงานมาตรฐานหรือ-ส่วนประกอบที่แปรรูปแบบกำหนดเอง เราก็ส่งมอบผลิตภัณฑ์ทองแดงที่มีความแม่นยำโดยมีระยะเวลารอคอยสินค้าสั้นและได้รับการรับรองวัสดุโดยสมบูรณ์

รับใบเสนอราคาและแผนโลจิสติกส์ที่รวดเร็ว